HMDS烘箱預處理系統(tǒng)操作流程
1、首先確定烘箱工作溫度；
2、預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應;
4、當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。
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